氮化硅坩埚
- 珂玛科技:陶瓷加热器及8寸类型静电卡盘现已量产将要点研制12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件
产品详情
金融界9月13日音讯,有投入资金的人在互动渠道向珂玛科技发问:贵公司不断打破中高端产品技能瓶颈,推进国产代替进程。请问能否介绍一下贵公司在处理陶瓷加热器、静电卡盘和超高纯碳化硅套件等产业链“卡脖子”产品研制和量产以及订单状况?祝福公司在国产代替的路途上高奏凯歌、一路长虹!
公司答复表明:公司陶瓷加热器已有多款类型安装于SACVD、PECVD、LPCVD和激光退火设备等,安装于刻蚀机的8寸类型静电卡盘也现已量产。公司将加强完善陶瓷加热器、8寸静电卡盘产品,并要点研制打破12寸静电卡盘、超高纯碳化硅套件,加快推进市场化使用。
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