碳化硅陶瓷具有高导热性、高温机械强度、高刚度、低热线胀系数、杰出的热均匀性、反抗腐蚀才能、耐磨耗性等特性。碳化硅在高达1400℃的极点温度下，其仍能坚持杰出的强度。选用碳化硅陶瓷的研磨盘因为硬度高而磨损小，且热膨胀系数与硅晶片根本相同，因此可以高速研磨抛光。

　　在硅晶片出产时，需求通过高温热处理，常运用碳化硅夹具运送，其耐热、无损，可在外表涂敷类金刚石（DLC）等涂层，可增强功能，缓解晶片损坏，一起避免污染分散。此外，碳化硅陶瓷还可应用在XY渠道、基座、聚集环、抛光板、晶圆夹盘、真空吸盘、转移臂、炉管、晶舟、悬臂桨等。

　　碳化硅陶瓷硬度高，资料的脆性较大，加工时有可能会呈现崩边、碎裂等状况。一般加工陶瓷件都是运用专用的陶瓷精雕机加工，可以轻松又有用的削减本钱，到达高精细加工。鑫腾辉数控自研了一款陶瓷加工专用的陶瓷雕铣机，陶瓷雕铣机是一款防护功能好、加工精度高的陶瓷专用高速雕铣机。陶瓷雕铣机加强了机床的刚性，加工时发生的振荡可降至最小，确保精度的一起也能进步加工功率，并且防护功能针对陶瓷粉末进行了加强，可以彻底根绝粉末对机床的损害。鑫腾辉数控也可以给我们供给陶瓷加工技能，具有一支技能十分精深的CNC加工、磨削团队，精细零部件研制定制加工等。