17年努力做好一件事，沈阳芯源微这份对主业的长期坚守也获得了市场的认可。证监会网站11月18日晚间公布消息称，按法定程序同意沈阳芯源微电子设备股份有限公司科创板首次公开发行股票注册，这也代表着沈阳芯源微科创板上市迈过了最为关键的一步，只待最后的发行程序。

  作为国内主要的半导体设备厂商之一，沈阳芯源微自成立以来，专心做好一件事，深耕涂胶显影设备和单片式湿法设备领域，目前公司生产的涂胶显影设备已成功打破国外垄断并填补国内空白，是国产涂胶显影设备领域的先行者。

  公开披露的资料显示，沈阳芯源微主要是做半导体专用设备的研发、生产和销售，产品有光刻工序涂胶显影设备（涂胶/显影机、喷胶机）和单片式湿法设备（清洗机、去胶机、湿法刻蚀机），可用于6英寸及以下单晶圆处理及8/12英寸单晶圆处理。公司生产的涂胶显影设备产品，在LED芯片制造及集成电路制造后道先进封装等环节，作为国内厂商主流机型已成功实现进口替代；在集成电路制造前道晶圆加工环节，公司成功突破了前道涂胶显影设备关键技术，并于2018年下半年分别发往上海华力、长江存储进行工艺验证，其中，上海华力机台已于2019年9月通过工艺验证并确认收入，长江存储机台目前也仍在验证中。

  记者了解到，光刻工序涂胶显影设备系集成电路制作的完整过程中不可或缺的关键处理设备，主要与光刻机配合进行作业，通过机械手使晶圆在各系统间传输和处理，从而完成晶圆的光刻胶涂覆、固化、显影、坚膜等工艺过程。作为光刻机的输入和输出，涂胶/显影机的性能不仅直接影响到细微曝光图案的形成，其显影工艺的图形质量和缺陷控制对后续诸多工艺中图形转移的结果也有着深刻的影响。

  “半导体设备市场是一个高度国际化、规范化和成熟化的市场，沈阳芯源微作为后起之秀，产品获得市场的认可，并不是特别容易。”有业内人士在接受《证券日报》记者正常采访时表示，“要想打破国外对技术的垄断，就要靠这一些企业对主业长期坚守，要靠骨子里不屈的创新精神，要靠过硬的拳头产品。”

  数据显示，虽然沈阳芯源微仅有253名员工，但截至2019年6月30日，公司已获得专利授权159项，其中发明专利134项，拥有软件著作权37项；是货真价实专利“大户”。

  此次公司拟发行股票数量不超过2100万股，所募集资金将用于高端晶圆处理设备产业化项目和高端晶圆处理设备研发中心项目。沈阳芯源微在披露的公开材料中表示，前道芯片生产线的不断扩张与半导体设备国产化的大趋势，为国产半导体设备企业未来的发展创造了历史性的机遇。通过这次发行，公司将能够解决研发投入的燃眉之急，逐步提升自身在半导体设备领域的技术积累。

  作为国家工信部认定的首批“专精特新”小巨人企业之一，沈阳芯源微此次通关科创板，也将助力企业继续在改善经营管理、提升产品质量、实现创新发展方面发挥示范带动作用，以更优质的产品助力“中国芯”跨越式发展！

  数博会期间，国家数据局会同科技部等部门发布[详情]

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