毅达本钱音讯显现，德智新材专门干碳化硅纳米镜面涂层及陶瓷基复合材料研制、出产和出售，致力于高制程半导体出产要害耗材的出产。2020年，德智新材自主规划的国内最大化学气相堆积设备正式投入到正常的运用中，SiC涂层石墨基座顺利完成产业化。

  此外，在半导体蚀刻工艺的重要耗材蚀刻环范畴，现在，德智新材半导体用SiC蚀刻环项目已率先在国内完成了量产交给。

  此前音讯显现，德智新材半导体用碳化硅蚀刻环项目于本年6月完成了主体工程建造，并估计在明年初投产。该项目总投资约2.5亿元，大多数都用在半导体用碳化硅蚀刻环的研制、制作，投产后年产量超1亿元。（校正/赵碧莹）